Näytteidenkäsittelymenetelmä ja synkronoitu termografia
johtavien ohutkalvojen tasalaatuisuuden määrityksissä

Johtavien materiaalien tasalaatuisuus on tärkeä ominaisuus ohutkalvoelektroniikan sovelluksissa kuten aurinkokennoissa ja valoa emittoivissa diodeissa (LED). Tasalaatuisuuserot ovat usein erittäin pieniä, näkymättömiä tai ne sijaitsevat pinnan alla, joten niiden havaitseminen on vaikeaa perinteisillä nykytieteen mittausmenetelmillä.

Tässä väitöskirjassa kehitettiin menetelmä, jossa johtavia ohutkalvoja lämmitetään sähkövirralla ja viiveajan jälkeen mitataan ohutkalvon infrapunakuva, josta nähdään kalvon tasalaatuisuus. Näytteinä käytettiin orgaanisissa aurinkokennoissa ja LED:ssä käytettyjä ohutkalvoja.

Menetelmällä kyetään paikallistamaan pieniä virheitä kalvojen rakenteissa. Lisäksi menetelmää hyödyntäen voidaan määrittää ohutkalvorakenteiden kriittisiä taivutussäteitä ja kalvojen paksuuksia.

Menetelmän hyödyt saavutetaan suuripinta-alaisten näytteiden pienten virheiden havaitsemisessa. Tulevaisuuden mahdollisuudet ovat mittaustekniikan hyödyntämisessä ohutkalvoelektroniikan laadunvalvonnassa.